加工与成形制造技术的发展趋势
送料机微细、超微细加工是一种特殊的精密加工，它不仅加工精度极高，而且加工尺寸细微，其主要工艺方法有光刻、刻蚀、沉积、外延生长等。美国采用半导体微细加工工艺已在硅片上加工出纳米级微型静电马达和微流量控制泵；可注入人的血管的医用微型机器人和其它实验、演示用微型机器人也已诞生。超精密加工在不断进步其极限加工精度的同时，加工对象也已由加工单件小批量的工具、量具等扩展到大批量工件出产和高科技产品的加工，以纳米技术作为技术前沿的超精密加工形成强盛工业的时代即将到来！

　　据国外专家猜测，21世纪将是微型机械、微电子和微型机器人的时代。精密加工和超精密加工、微细和超微细加工、微型机械等精密工程是当今也是未来制造技术的基础，其中以纳米技术为代表的超精密加工技术和以微细加工为手段的微型机械技术被以为是21世纪的核心技术和枢纽技术。

　　加工技术向高精度发展是制造技术的一个重要发展方向。精密、超精密加工主要包括4个领域：一是超精紧密亲密削加工，国外采用金刚石刀具已成功地实现了纳米级极薄层的不乱切削；二是超精密磨削加工和研磨加工，国外用精密砂带加工出的磁盘其粗拙度可达9nm；三是超精密特种加工技术，发达国家用电子束、离子束刻蚀法已加工出加工精度2.5nm、粗拙度4.5nm以下的大规模集成电路芯片；四是超精密加工装备制造技术，目前加工圆度在10nm、表面粗拙度在3nm以内的超精密加工机床已经问世并用于出产。微型机械是机械技术与电子技术在μm/nm级水平上相融合的产物。加工精度是加工制造最重要的技术指标，由精密加工发展到超精密加工是产业发达国家持续追求的目标，预计到2000年前后，常规加工精度可达到1μm，精密和超精密加工精度分别达到10－2μm和10－3μm（1nm），即当代精密、超精密加工正从微米、亚微米级向纳米级过渡，进而向原子级加工精度迫临，真正实现材料表面的原子转移。